測硫儀的氣路出現故障的時候便會使分析結果偏低，可通過關閉過濾開關上的閥門，觀察“抽氣”流量計浮子是否慢慢下降，如能降到1L/min以下則氣密性良好，否則氣路有漏氣或堵塞部位。當氣路系統出現故障時可通過以下幾步檢查處理。

1、首先檢查從高溫爐中石英管的抽氣管接頭到空氣開關之間的硅橡膠管是否有破損并及時更換(一般在抽氣管接頭處容易出現破損)；

2、檢查過濾開關的凡士林是否起到密封效果否則均勻添加凡士林，并檢查過濾開關中的脫脂棉是否合適只要能起到過濾氣路便可，并非多多益善否則可堵塞氣路；

3、檢查電解杯的進氣口和出氣口硅橡膠管接頭是否漏氣，拔下后重新安裝進行確認；

4、檢查干燥管上下接頭處密封圈是否完好，并添加凡士林防止漏氣，另外檢查下接頭是否有硅膠落入，以防堵塞氣路；

5、調節氣路中的單向節流閥使抽氣量在2.0L/min左右，吹氣流量在1200±200mL/min，并鎖死單向節流閥防止微型真空泵震動改變流量大小。

6、檢查微型真空泵(抽氣泵)是否故障、漏氣，若有則更換新的真空泵（建議使用原廠配件）。

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